マイクロ・ナノ加工学研究室
スタッフ
研究内容
最先端の自動車，情報機器や電子デバイスを支えるものづくり技術，それがマイクロ･ナノ加工です．マイクロは 10-6m（μm），ナノは 10-9m（nm）を意味しています．肉眼では見えないサイズの形状を，各種素材に対して創り出し（加工し）ます．様々な形状や素材の種類に対応するため，加工の方法も様々です．機械的な方法だけでなく，電気や化学エネルギーを利用した加工法も用います．
研究テーマ例
①超小型工具の放電加工（放電現象を利用する）による製作とその性能評価
②切削加工（刃物工具を使う）や研削加工（砥石を使う）による微細形状加工
③電解加工（電気分解の原理を応用する）を用いた微細穴・軸の創成
④マイクロ工具を用いた薄板の打抜きによる微細形状加工
放電加工により製作された直径17µmの超硬合金ドリル工具
直径900nmの極小径微細軸の創成例
微細打抜き加工例（穴径9µm）